冷陰極電離真空計非線性校準方法研究

2013-04-02 劉珈彤 蘭州空間技術物理研究所

冷陰極電離真空計非線性校準方法研究

劉珈彤，趙瀾，李莉，劉賜賢，馬奔

(蘭州空間技術物理研究所，甘肅 蘭州 730000)

　　摘要：主要介紹了冷陰極電離真空計結構、工作原理及冷陰極電離真空計的校準方法和校準裝置，并對校準數據進行了處理。由于冷陰極電離真空計為非線性真空計，通過比較，校準結果采用了校準曲線的方式，可提高校準的準確度，減小校準不確定度，保證真空測量的可靠性。

　　關鍵詞：冷陰極電離真空計;校準方法;校準裝置;不確定度;校準曲線