近年來(lái)，隨著世界各國(guó)航天技術(shù)發(fā)展和其它高新技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用需求，需要精確測(cè)量10^-12 Pa·m³/s及以下量級(jí)的極小氣體流量。

　　國(guó)防科技工業(yè)真空一級(jí)計(jì)量站經(jīng)過(guò)多年技術(shù)攻關(guān)，突破了小孔流導(dǎo)的精確測(cè)量、基于非蒸散型吸氣劑的選擇性抽氣、固定流導(dǎo)法流量計(jì)的測(cè)量下限延伸等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。在國(guó)際上首次提出基于非蒸散型吸氣劑的固定流導(dǎo)法測(cè)量氣體微流量的新方法，將氣體微流量的測(cè)量下限延伸到10^-12 Pa·m³/s的極小氣體流量范圍。提出基于靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)的極小氣體流量測(cè)量方法，流量計(jì)的充氣壓力通過(guò)靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)直接產(chǎn)生，再次將氣體微流量的測(cè)量下限延伸到10^-16 Pa·m³/s的極小氣體流量范圍。相關(guān)技術(shù)已在超靈敏檢漏、真空漏孔校準(zhǔn)等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

　　“一種測(cè)量極小氣體流量的方法”2013年獲中國(guó)專(zhuān)利優(yōu)秀獎(jiǎng)，相關(guān)成果分別于2010年、2011年獲甘肅省科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)和國(guó)防技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)。

極小氣體流量測(cè)量裝置實(shí)物照片

一種測(cè)量極小氣體流量的方法-中國(guó)專(zhuān)利優(yōu)秀獎(jiǎng)證書(shū)