JB/T 10771-2007 真空技術 復合分子泵

Vacuum technology-Hybrid molecular pumps

復合分子泵（Hybrid molecular pumps）是一種分子泵，其特征在于泵的進氣口側有一級，或者一級以上的渦輪分子泵抽氣單元，泵的排氣口側有一級或者一級以上的牽引分子泵抽氣單元，兩種抽氣單元串聯抽氣，組成一種有別于傳統渦輪分子泵和牽引分子泵的新穎分子泵。

本標準規定了復合分子泵的型式和基本參數，技術要求，測試方法，檢驗規則，標志、包裝、運輸和貯存等。

本標準適用于具有前級泵、變頻電源的復合分子泵(以下簡稱泵)。

起草單位：深圳大學

 歸口單位：全國真空技術標準化技術委員會  

發布部門：國家發展和改革委員會

發布日期：2007-8-28  

實施日期：2008-2-1 

 出版單位：機械工業出版社